ELECTRONIC MANUFACTURING 
Flache Halter für die EUV-Belichtung category PRODUKTINNOVATION - Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF
Flache Halter für die EUV-Belichtung

Um Silizium-Wafer bei der Chipherstellung zu belichten, sind spezielle Halterungen notwendig: Chucks. Neuartige elektrostatische Chucks aus Glaskeramik sind enorm flach. Das verhindert Strukturverzerrungen auf der Belichtungsmaske und dem Silizium-Chip. go

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