PRODUKTINNOVATION
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Precitec Optronik - Silizium durchleuchten
Neues Messsystem erfasst die Silizium-Dicke mit nur einem Sensor
Eine sehr einfache und gleichzeitig hochgenaue Schichtdickenmessung von
Wafern und Chips bietet jetzt das neue CHRocodile IT von Precitec
Optronik. Es ist in der Lage, berührungslos mit nur einer
Messstelle Silizium zu durchleuchten und exakt Wafer bis zu einer Dicke
von 1 mm zu vermessen.
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Zum Thema wurden Productronica 2007 Aussteller gefunden: |
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Hintergrund dieses neuen, zerstörungsfreien Messverfahrens ist ein
interferometrisch arbeitender Sensor, der nicht, wie üblich, mit
Weißlicht sondern mit Infrarotlicht arbeitet. Vorteil: eine
Messstelle mit sehr hellem Licht ermöglicht bei gleichen
Bedingungen bis zu 5-mal höhere Messgeschwindigkeiten und einen
zehnmal höheren Messbereich (bis 3,5 mm Luftspalt) gegenüber
dem Weißlichtverfahren. Dabei kann die Messeinrichtung durch
ihren robusten und einfachen Aufbau direkt in den
Waferproduktionsprozess integriert werden. Natürlich bietet sich
CHRocodile IT auch als kostengünstige und gleichzeitig
hochpräzise Schichtdickenmessung im Labor an.
Das neue System erfasst dabei nicht nur hochgenau die Schichtdicke von
Silizium sondern auch von transparenten Folien bis zu einer Stärke
von 2,5 mm. Die erfassten Messwerte stehen dem Anwender für die
Prozesskontrolle und -Steuerung, oder auch Exel- Dokumentation zur
Verfügung. CHRocodile IT bietet damit erhebliche Vorteile für
die Wafer- und Folienherstellung: -Hochgenaue Dickenmessung von nur
einer Seite aus
- Berührungsloses und zerstörungsfreies Messverfahren
- 5-mal hellere Lichtquelle, daher 5-mal schnelleres Messen
- 10-mal höherer Messbereich (bis 3,5 mm) als beim Weißlichtverfahren
- Problemlos im Fertigungsprozess zu integrieren
- Klein, kompakt und kostengünstig
Das bedeutet für den Anwender: - Einhalten hoher Qualitätsstandards bei der Wafer- und Folienherstellung
- Vermeiden von Ausschussproduktion
- Schnelle Amortisation der Ausrüstungsinvestition
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