PRODUKTINNOVATION
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Fraunhofer IZfP - Präparation von Prüfobjekte
Wafersäge - Trennen und Strukturieren verschiedener Materialien
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Zum Thema wurden Productronica 2007 Aussteller gefunden: |
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Das Trennschleifen mittels Wafersäge eignet sich zum
hochpräzisen Schneiden und Strukturieren verschiedenster
Materialien, wie zum Beispiel Silizium, Glas, Keramik oder auch
Materialverbunde. Bekannteste Anwendung der Wafersäge ist das
Trennen der einzelnen Chips eines Siliziumwafers. Am Fraunhofer IZfP
Dresden wird die Wafersäge außerdem für die Herstellung
piezoelektrischer Kompositmaterialien und die Konfektionierung
von Ultraschallsensoren eingesetzt. Eine zusätzliche Aufgabe
besteht in der Vorbereitung unterschiedlicher Objekte für
nachfolgende Prüfverfahren. Eingebettete Schichten, Kanäle
oder Schichtstrukturen können durch einen Querschnitt mit der
Wafersäge freigelegt und anschließend analysiert werden.
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