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  ACI-ecotec GmbH & Co. KG
Deutschland 78112 A6.546
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Deutschland 77815 B5.166
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Microtechnologies GmbH		   Deutschland 93059 B5.161
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Deutschland 28359 B5.155
  Fraunhofer-Institut für Lasertechnik ILT   Deutschland 52074 B5.355
Fraunhofer-Institut
für Zuverlässigkeit und
Mikrointegration IZM		   Deutschland 13355 B5.456
Fraunhofer -
Institut für Siliziumtechnologie (ISIT)		   Deutschland 25524 B5.244
  Häcker Automation GmbH   Deutschland 99891 B5.231
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